专为MiniLED高产量而设！中微公司发布MOCVD设备Prismo UniMax™

6月17日，中微半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“中微公司”）今日宣布推出专为高性能Mini LED量产而设计的Prismo UniMax™ mocvd设备，该设备在帮助LED芯片制造商提高产能的同时能够有效地降低生产成本。

中微公司Prismo系列MOCVD设备已进入全球大多数领先的氮化镓基蓝绿光LED制造商，此次推出的Prismo UniMax™是中微公司Prismo系列MOCVD设备的最新产品，该设备在同一系统中可配备多达4个反应腔。Prismo UniMax™配置了创新的多区温度补偿加热系统，具备优异的波长均匀性、重复性和稳定性。在技术创新上，该设备喷淋头的优化设计实现了更好的均匀性和产出稳定性、超大直径石墨托盘可大幅提升产能并降低成本。

值得注意的是，Prismo UniMax™ MOCVD设备专为高产量而设计，具有业内领先的加工容量；通过石墨盘晶片排布的最优化，其加工容量可以延伸到生长164片4英寸或72片6英寸晶片。

众所周知，Mini LED具有高亮度、精确的动态响应和高对比度等优势，能够显著提升显示品质。而中微公司发布的Prismo UniMax™ MOCVD设备能够帮助客户在Mini LED生产过程中实现优异的波长均匀性和稳定性，这些指标也是Mini LED生产的制胜关键。

“Prismo UniMax™延续了中微公司现有Prismo平台的核心技术，是目前国内外极具创新性的MOCVD设备，为高性能的Mini LED生产提供高性价比的技术解决方案。”中微公司董事长兼总经理尹志尧博士说道，“我们很高兴看到公司开发的Prismo UniMax™设备已开始被国内领先的LED客户所采用。产品不仅能满足严格的技术要求，还能帮助客户以更低的成本获得更高的产量。我们欣喜地看到MOCVD设备市场即将迎来一个新的高潮。我们期待与我们的客户和合作伙伴一同并肩努力，进一步推动Mini LED技术和MOCVD设备市场的发展。”

目前中微公司Prismo UniMax™ MOCVD设备已收到来自国内领先客户的订单。同时，中微公司正在与更多客户合作进行设备评估。

通过中微公司2020年年度报告了解到，中微公司在2020年实现营收22.73亿元，同比增长16.76%；实现归属于上市公司股东的净利润4.92亿元，同比增长161.2%。

据悉，中微公司的MOCVD设备每年新增市场份额目前已达到70%以上，中微公司表示MOCVD设备目前在氮化镓基LED领域取得了领先优势，未来会在保持当前市场地位和技术竞争优势的基础上，在 Mini LED 新型显示及功率器件等领域进行布局。

在未来，中微公司表示将扩展到化学薄膜设备，和刻蚀及薄膜有关的测试等关键设备，并将扩展在泛半导体设备领域的产品，从已经开发的用于制造 MEMS 和影像感测器的刻蚀设备、制造蓝光 LED 的MOCVD设备，扩展到更多的微观器件加工设备，及制造UVC LED、Mini LED、Micro LED等微观器件的设备产品。