MiniLED/MicroLED晶圆及阵列的产线测试

LumiTop 4000 测量解决方案

MicroLED 是备受期待的新型显示技术。它尺寸小于 100 微米，具备特殊的光学特性，能够制造出带有宽色域、高对比度和高分辨率的显示器。然而，在大规模生产中，microled 对于生产的每一个阶段都提出了新的挑战。为了在一个晶圆上高效测试数千颗 MicroLED，制造商必须一次覆盖尽可能多的MicroLED，并同时进行快速准确的光学测试。只有使用带有实时光谱校准的仪器进行二维测量，才能既保证测量效率又避免测量误差。

在 MiniLED/MicroLED 生产的早期阶段就实施光学质量测试，可有效降低下游制程链的次品剔除率，从而提高生产线的经济效率。针对 Mini/MicroLED 的全天候（24/7）在线检测需求，德国 Instrument Systems 提供基于二维相机的独特测量解决方案，可在指定周期 (TT) 内，快速产生二维并具有像素级分辨率的精确光学分析。该方案结合 LumiTop 4000 成像色度仪，CAS 高精度光谱仪及光电二极管，兼具三種不同類型測量儀器的優勢。搭配 100 mm 微距镜头，可在一个测量站完成Mini/Micro LED晶圆及阵列的所有光学测试，例如：均匀性测量 (亮度和色度），缺陷检测 (Mura)，色彩校准，伽马指数，闪烁和亮度调节等。其视场角 (FoV) 约为 1.0×1.4 cm，可同时测量数千颗 Micro LED，最小像素尺寸低至 30 微米。

LumiTop 4000 具备 12 MP 分辨率。配备的硬件触发器实现了时间优化的仪器控制，并能同步测量及数据处理。独特的 LumiTop 测量技术确保高色彩精度，特别适用于测量窄带光谱 Micro LED。即使在生产批次中存在明显的光谱波动时，也可以进行精确的色彩校准 LED 测量。CMOS 传感器扩展了动态范围，适合测量可通过滤光片调整至最高亮度的调制显示器及光源。此外，测量系统搭配的 LumiSuite 软件可以对读数进行广泛的分析，产出强度和颜色分布图等。软件的演算法并可根据使用者的定义条件搜寻并标记像素缺陷。除了 Mini/Micro LED 产线测量外，也适合实验室研发应用。

LumiTop 测量解决方案是广受业界信赖的的显示屏测量标准。若您有任何关于显示器或Mini/MicroLED测量的问题，欢迎随时和我们联系（sales@instrumentsystems.com），从德国 IS 光测团队获得解决方案。