北方华创--ELEDE® 380G+/G380C刻蚀机 ELEDE® 380G+/G380C Etcher

北京北方华创微电子装备有限公司

Beijing NAURA Microelectronics Equipment Co.,Ltd.

北京北方华创微电子装备有限公司（简称“北方华创微电子”）的主营业务是由原七星电子的半导体装备相关业务与原北方微电子的全部业务整合而成。

七星电子成立于2001年9月，2010年3月在深圳证券交易所上市，是国内集成电路装备上市公司，也是国家02科技重大科技专项的主要承担单位之一，清洗机、氧化炉、LPCVD（低气压化学气相沉积）、ALD（原子层沉积）和气体质量流量控制器（MFC）等多个项目获得了政府科研项目资助。目前，多种高端集成电路关键设备批量进入大生产线，取得了良好的使用效果。同时，七星电子作为国内电力电子芯片装备、光伏电池装备、平板显示装备的主要供应商，与国内外行业主流客户形成了长期友好的合作关系。

北方微电子成立于2001年10月，是由北京电控集团联合七星集团、清华大学、北京大学、中科院微电子所和中科院光电技术研究所共同出资，由国内半导体高端管理技术人才和海外专家为核心团队创建的专注于高端集成电路装备业务的高技术公司。公司以生产销售高端集成电路装备为主业，重点发展刻蚀设备（Etch）、物理气相沉积设备（PVD）和化学气相沉积设备（CVD）三大类设备，广泛应用于集成电路制造、先进封装、半导体照明(LED)、微机电系统（MEMS）等领域。北方微电子自成立以来先后得到了国家科技部“十五”863集成电路制造装备重大项目及国家02科技重大专项的研发与产业化项目的科研资助。通过十余年的努力耕耘，已经发展成为中国大陆具有较强竞争力的高端微电子工艺装备制造企业，具有深厚的市场基础和良好的客户口碑。

重组后的北方华创微电子拥有高端人才50余人。产品涵盖：等离子刻蚀（Etch）、物理气相沉积（PVD）、化学气相沉积（CVD）、氧化/扩散、清洗、退火等半导体工艺装备；平板显示制造装备和气体质量流量控制器等核心零部件。涉及集成电路、先进封装、LED、MEMS、电力电子、平板显示、光伏电池等半导体相关领域，产品行销全国各地及东南亚、欧美，是国内覆盖领域广泛、产品种类众多、建设规模较大、综合实力强劲的半导体装备旗舰平台。

在集成电路领域，由公司自主研发的14nm等离子硅刻蚀机、单片退火系统、LPCVD已成功进入集成电路主流代工厂；28nm Hardmask PVD、Al-Pad PVD设备已率先进入国际供应链体系；12英寸清洗机累计流片量已突破60万片大关；深硅刻蚀设备也于去年一举告捷东南亚市场。这些丰硕的市场成果，标志着中国装备企业已经实现了集成电路装备制造技术的里程碑式跨越。

在先进封装领域，北方华创微电子开发的刻蚀机和PVD设备已在全球主要先进封装企业中得到了广泛应用。公司的先进封装PVD机台性能优越，在全球CIS封装企业中名列前茅；所开发的TSV刻蚀设备在大陆地区最近几年的新增市场中亦实现了较高的市场占有率；同时应用于Bumping制程的Descum设备于2016年一经推出便收获了市场的积极关注……北方华创将始终紧跟市场需求，不断提供能够精准符合客户需求的卓越产品与优质服务。

在LED领域，ELEDE系列刻蚀机自2010年面市以来销售量已经超过两百余台，其中氮化镓刻蚀机在2014～2016连续三年新增市场占有率、出货量大幅提升；PSS刻蚀机一直是全球主流PSS厂家的主要机台，目前为止国内规模超卓的中图半导体公司已累计采购该机型近百台，对市场起到了有力的表率作用；自主开发的AlN缓冲层溅射设备，更是引领了全球LED行业技术发展趋势，在2016年实现 AlN Sputter的全球市场占有率提升，不仅在市场上取得了较大成功，更是在技术上一举打破了多年来本土设备商只能处于追随状态的坚冰局面！而同样面向LED芯片制造的EPEE550系列PECVD自推向市场以来，一直保持着新增市场占有率80%以上的市场业绩，稳居市场前沿。

面向目前高速增长的MEMS及新兴市场，北方华创微电子的深硅刻蚀设备，已批量销往多家科研机构及生产线，服务于微纳制造、光通信、化合物半导体、功率器件等多个新兴领域，客户安装量超过百台以上；应用于薄膜/厚膜硅外延的APCVD系统在2016年更是一举获得了硅外延市场认可，斩获了客户大批采购订单。

在光伏制造领域，公司研发了国内应用于高效光伏电池生产的负压扩散炉，获得了市场认可，目前已成为市场主流产品；研发的晶硅电池线的大部分关键生产设备如在线湿法刻蚀机、槽式单晶制绒机、卧式扩散炉、PECVD等设备均已实现了进口替代。

在平板显示领域，北方华创微电子公司是国内TFT-LCD生产线的骨干设备供应商，多种产品在客户G5至G10.5各个世代TFT-LCD生产线及OLED生产线上批量应用；CELL段的ODF工艺紫外固化炉UV Cure以及Cutting工艺的Grind Cleaner等设备均在各世代生产线占据重要份额。

此外，北方华创微电子公司在气体流量测量和控制方面亦拥有多项关键技术优势，气体质量流量控制器（MFC）产品行销欧美。

在为半导体领域客户打造的产品蓝图中，新技术、新产品、新工艺代代更迭、生生不息。正如“北方华创”品牌的英文名称——“NAURA”所寓意的，“北方华创”的明星产品如浩瀚星辰般在半导体宇宙中璀璨闪耀。

ELEDE 380系列刻蚀机是LED芯片制作的关键设备, 可以用于正装芯片，倒装芯片，垂直芯片这三种芯片中的电极刻蚀(刻蚀材料GaN, AlGaInP/GaP)，隔离刻蚀(刻蚀材料GaN, GaAs)，钝化层刻蚀(刻蚀材料SiO_2, SiN_X),介质反射层刻蚀(刻蚀材料SiO₂ 和TiO₂)，金属阻挡层刻蚀(刻蚀材料TiW)。良好的刻蚀均匀性对芯片的亮度和良率至关重要，ELEDE 380系列产品结合独特的线圈设计、下电极设计和托盘设计，实现良好的工艺均匀性控制，满足不同产品制程中的多种刻蚀材料工艺应用，ELEDE 380系列刻蚀机是LED领域标杆产品。